Study of the surface morphology of platinum thin films on...

Vacuum 2008 Vol. 83; Iss. 3

Study of the surface morphology of platinum thin films on powdery substrates prepared by the barrel sputtering system

Akira Taguchi, Mitsuhiro Inoue, Chikako Hiromi, Masaaki Tanizawa, Tomohito Kitami, Takayuki Abe
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Volume:
83
Année:
2008
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.vacuum.2008.04.023
Fichier:
PDF, 1.47 MB
english, 2008
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