Energetic negative ions in titanium oxide deposition by...

Vacuum 2006 Vol. 80; Iss. 7

Energetic negative ions in titanium oxide deposition by reactive sputtering in Ar/O2

Kikuo Tominaga, Daisuke Ito, Yoshinori Miyamoto
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Volume:
80
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.vacuum.2005.11.007
Fichier:
PDF, 220 KB
english, 2006
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