Investigation of the electron energy distributions in Ar/N2...

Vacuum 2004 Vol. 74; Iss. 3-4

Investigation of the electron energy distributions in Ar/N2 ECR plasmas with magnetic mirror

Hiroshi Muta, Doan Ha Thang, Yoshinobu Kawai
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Volume:
74
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.vacuum.2004.01.003
Fichier:
PDF, 233 KB
english, 2004
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