Ellipsometric investigation of the mechanism of the...

Thin Solid Films 2011 Vol. 519; Iss. 19

Ellipsometric investigation of the mechanism of the formation of titanium oxynitride nanolayers

F.N. Dultsev, S.N. Svitasheva, Yu.V. Nastaushev, A.L. Aseev
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Volume:
519
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.tsf.2011.04.034
Fichier:
PDF, 675 KB
english, 2011
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