Effect of deposition temperature on the properties of CeO2...

Thin Solid Films 2011 Vol. 519; Iss. 13

Effect of deposition temperature on the properties of CeO2 films grown by atomic layer deposition

P.J. King, M. Werner, P.R. Chalker, A.C. Jones, H.C. Aspinall, J. Basca, J.S. Wrench, K. Black, H.O. Davies, P.N. Heys
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Volume:
519
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2011.02.025
Fichier:
PDF, 482 KB
english, 2011
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