Aging of silicon-based dielectric coatings deposited by...

Thin Solid Films 2011 Vol. 519; Iss. 7

Aging of silicon-based dielectric coatings deposited by plasma polymerization

Jan Studynka, Vladimir Cech
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Volume:
519
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2010.11.025
Fichier:
PDF, 470 KB
english, 2011
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