Formation of microcrystalline SiC films by chemical...

Formation of microcrystalline SiC films by chemical transport with a high-pressure glow plasma of pure hydrogen

Hiromasa Ohmi, Yoshinori Hamaoka, Daiki Kamada, Hiroaki Kakiuchi, Kiyoshi Yasutake
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
519
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.tsf.2010.06.066
Fichier:
PDF, 1009 KB
english, 2010
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué