Growth of RuO2 thin films by liquid injection atomic layer...

Thin Solid Films 2010 Vol. 518; Iss. 16

Growth of RuO2 thin films by liquid injection atomic layer deposition

K. Hušeková, E. Dobročka, A. Rosová, J. Šoltýs, A. Šatka, F. Fillot, K. Fröhlich
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Volume:
518
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2009.12.063
Fichier:
PDF, 852 KB
english, 2010
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