Microstructural analysis and mechanical properties of...

Thin Solid Films 2009 Vol. 517; Iss. 17

Microstructural analysis and mechanical properties of TaN–Ag nanocomposite thin films

C.C. Tseng, J.H. Hsieh, S.C. Jang, Y.Y. Chang, W. Wu
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Volume:
517
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.tsf.2009.03.136
Fichier:
PDF, 624 KB
english, 2009
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