Ru thin film grown on TaN by plasma enhanced atomic layer...

Thin Solid Films 2009 Vol. 517; Iss. 16

Ru thin film grown on TaN by plasma enhanced atomic layer deposition

Qi Xie, Yu-Long Jiang, Jan Musschoot, Davy Deduytsche, Christophe Detavernier, Roland L. Van Meirhaeghe, Sven Van den Berghe, Guo-Ping Ru, Bing-Zong Li, Xin-Ping Qu
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
517
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.tsf.2009.03.001
Fichier:
PDF, 978 KB
english, 2009
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué