Aluminium doped zinc oxide sputtered from rotatable dual...

Thin Solid Films 2009 Vol. 517; Iss. 10

Aluminium doped zinc oxide sputtered from rotatable dual magnetrons for thin film silicon solar cells

H. Zhu, E. Bunte, J. Hüpkes, H. Siekmann, S.M. Huang
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Volume:
517
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.tsf.2008.11.116
Fichier:
PDF, 1.30 MB
english, 2009
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