Poly-Si films with long carrier lifetime prepared by rapid...

Thin Solid Films 2008 Vol. 516; Iss. 5

Poly-Si films with long carrier lifetime prepared by rapid thermal annealing of Cat-CVD amorphous silicon thin films

Keisuke Ohdaira, Yuki Abe, Makoto Fukuda, Shogo Nishizaki, Noritaka Usami, Kazuo Nakajima, Takeshi Karasawa, Tetsuya Torikai, Hideki Matsumura
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Volume:
516
Année:
2008
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2007.06.216
Fichier:
PDF, 322 KB
english, 2008
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