High-selectivity damascene chemical mechanical polishing

Thin Solid Films 2006 Vol. 498; Iss. 1-2

High-selectivity damascene chemical mechanical polishing

Shao-Yu Chiu, Ying-Lang Wang, Chuan-Pu Liu, Shih-Chieh Chang, Gwo-Jen Hwang, Ming-Shiann Feng, Chia-Fu Chen
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Volume:
498
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2005.07.063
Fichier:
PDF, 92 KB
english, 2006
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