Annealing Behaviour of High Concentration of Sn and Sb...

Materials Science Forum 1986 Vol. 10-12

Annealing Behaviour of High Concentration of Sn and Sb Implanted in Silicon

Weyer, G., Nylandsted-Larsen, Arne, Pedersen, F.T., Galloni, R., Rizzoli, R.
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Volume:
10-12
Année:
1986
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.10-12.1135
Fichier:
PDF, 334 KB
1986
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