Rapid Thermal Annealing of Ion Implanted Strained Si1-xGex

Thomsen, E.V., Nylandsted-Larsen, Arne, Hansen, J.L., Kringhøj, P., Shiryaev, S.Y., Weyer, G.

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Volume:

143-147

Année:

1994

Journal:

Materials Science Forum

DOI:

10.4028/www.scientific.net/MSF.143-147.513

Fichier:

PDF, 355 KB

1994

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