Annealing of Aluminum Implanted 4H-SiC: Comparison of...

Materials Science Forum 2005 Vol. 483-485

Annealing of Aluminum Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing

Rambach, Martin, Bauer, Anton J., Frey, Lothar, Friedrichs, Peter, Ryssel, Heiner
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Volume:
483-485
Année:
2005
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.483-485.621
Fichier:
PDF, 185 KB
english, 2005
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