Coimplantation Effects of (C and Si)/Ga in 6H-SiC

Tanaka, Yasunori, Kobayashi, Naoto, Hasegawa, Mitsuru, Ogura, M., Yoshida, Sadafumi, Ishida, Yuuki, Okumura, Hajime, Tanoue, Hisao

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Volume:

338-342

Année:

2000

Journal:

Materials Science Forum

DOI:

10.4028/www.scientific.net/MSF.338-342.917

Fichier:

PDF, 318 KB

2000

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