Sodium Enhanced Oxidation of Si-Face 4H-SiC: A Method to...

Sodium Enhanced Oxidation of Si-Face 4H-SiC: A Method to Remove Near Interface Traps

Sveinbjörnsson, Einar Ö., Allerstam, Fredrik, Ólafsson, H.Ö., Gudjónsson, G., Dochev, D., Rödle, T., Jos, R.

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Volume:

556-557

Année:

2007

Langue:

english

Journal:

Materials Science Forum

DOI:

10.4028/www.scientific.net/MSF.556-557.487

Fichier:

PDF, 345 KB

english, 2007

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