Reactive sputtering of TiOxNy coatings by the reactive gas...

Surface and Coatings Technology 2007 Vol. 201; Iss. 18

Reactive sputtering of TiOxNy coatings by the reactive gas pulsing process: Part II: The role of the duty cycle

N. Martin, J. Lintymer, J. Gavoille, J.M. Chappé, F. Sthal, J. Takadoum, F. Vaz, L. Rebouta
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Volume:
201
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2007.03.021
Fichier:
PDF, 678 KB
english, 2007
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