Germanium nanoparticle formation in thin oxide films on Si...

Surface and Coatings Technology 2007 Vol. 201; Iss. 19-20

Germanium nanoparticle formation in thin oxide films on Si by negative-ion implantation

Hiroshi Tsuji, Nobutoshi Arai, Naoyuki Gotoh, Takashi Minotani, Toyotsugu Ishibashi, Tetsuya Okumine, Kouichiro Adachi, Hiroshi Kotaki, Yasuhito Gotoh, Junzo Ishikawa
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Volume:
201
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2006.02.063
Fichier:
PDF, 783 KB
english, 2007
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