Characteristics of plasma parameters in N2/Ar ECR plasma...

Surface and Coatings Technology 2005 Vol. 200; Iss. 1-4

Characteristics of plasma parameters in N2/Ar ECR plasma for nitridation

Hiroshi Muta, Doan Ha Thang, Yoshinobu Kawai
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Volume:
200
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2005.03.002
Fichier:
PDF, 143 KB
english, 2005
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