Electrical properties of AlN thin films prepared by ion...

Surface and Coatings Technology 2005 Vol. 196; Iss. 1-3

Electrical properties of AlN thin films prepared by ion beam enhanced deposition

Zhenghua An, Chuanling Men, Zhengkui Xu, Paul K. Chu, Chenglu Lin
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
196
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2004.08.169
Fichier:
PDF, 384 KB
english, 2005
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué