Ultrathin DPN STI SiON liner for 40 nm low-power...

Solid-State Electronics 2010 Vol. 54; Iss. 5

Ultrathin DPN STI SiON liner for 40 nm low-power CMOS technology

Chan-Yuan Hu, Jone F. Chen, Shih-Chih Chen, Shoou-Jinn Chang, Kay-Ming Lee, Chih-Ping Lee
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Volume:
54
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.sse.2010.01.019
Fichier:
PDF, 456 KB
english, 2010
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