Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films...

Superlattices and Microstructures 2004 Vol. 36; Iss. 4-6

Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films obtained by pulsed laser deposition

C. Cibert, F. Tétard, P. Djemia, C. Champeaux, A. Catherinot, D. Tétard
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
36
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/j.spmi.2004.09.055
Fichier:
PDF, 1016 KB
english, 2004
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué