Polytype and Defect Control of Two Inch Diameter Bulk SiC

Materials Science Forum 2000 Vol. 338-342

Polytype and Defect Control of Two Inch Diameter Bulk SiC

Sasaki, Makato, Shiomi, Hiromu, Harima, Hiroshi, Nishino, Shigehiro
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Volume:
338-342
Année:
2000
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.338-342.485
Fichier:
PDF, 392 KB
2000
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