Mechanical cross-characterization of sputtered inconel thin...

Sensors and Actuators B: Chemical 2007 Vol. 126; Iss. 1

Mechanical cross-characterization of sputtered inconel thin films for MEMS applications

Gatien Fleury, Christophe Malhaire, Charles Populaire, Marc Verdier, Arnaud Devos, Pierre-Louis Charvet, Jean-Philippe Polizzi
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Volume:
126
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.snb.2006.10.038
Fichier:
PDF, 494 KB
english, 2007
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