Detection of gas trace of hydrofluoric acid using...

Sensors and Actuators B: Chemical 2004 Vol. 99; Iss. 1

Detection of gas trace of hydrofluoric acid using microcantilever

Johann Mertens, Eric Finot, Marie-Hélène Nadal, Vincent Eyraud, Olivier Heintz, Eric Bourillot
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Volume:
99
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/j.snb.2003.10.030
Fichier:
PDF, 284 KB
english, 2004
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