Dry release of SU-8 structures using OHP transparency as...

Sensors and Actuators A: Physical 2011 Vol. 167; Iss. 1

Dry release of SU-8 structures using OHP transparency as the substrate material

Wong Wai Chi, Wong Wah Seng, Lee Kok Siong, Ishak Abdul Azid, Kamarulaziz Ibrahim, D. Mutharasu
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Volume:
167
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.sna.2011.01.014
Fichier:
PDF, 1.18 MB
english, 2011
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