Broadband MEMS shunt switches using PZT/HfO2 multi-layered...

Sensors and Actuators A: Physical 2005 Vol. 121; Iss. 1

Broadband MEMS shunt switches using PZT/HfO2 multi-layered high k dielectrics for high switching isolation

Jiunnjye Tsaur, Kazumasa Onodera, Takeshi Kobayashi, Zhang-Jie Wang, Sven Heisig, Ryutaro Maeda, Tadatomo Suga
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Volume:
121
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.sna.2005.01.026
Fichier:
PDF, 526 KB
english, 2005
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