A silicon integrated opto-electro-mechanical displacement...

Sensors and Actuators A: Physical 2004 Vol. 110; Iss. 1-3

A silicon integrated opto-electro-mechanical displacement sensor

S. Fourment, P. Arguel, J.-L. Noullet, F. Lozes, S. Bonnefont, G. Sarrabayrouse, Y. Jourlin, J. Jay, O. Parriaux
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Volume:
110
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.sna.2003.10.067
Fichier:
PDF, 541 KB
english, 2004
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