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A grounded coplanar waveguide with a metallized silicon...

Sensors and Actuators A: Physical 2004 Vol. 111; Iss. 1

A grounded coplanar waveguide with a metallized silicon cavity fabricated by front-surface-only processes

Yukihisa Yoshida, Tamotsu Nishino, Jiwei Jiao, Sang-Seok Lee, Yoshiyuki Suehiro, Ken’ichi Miyaguchi, Tatsuya Fukami, Masafumi Kimata, Osami Ishida
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Volume:
111
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.sna.2003.10.011
Fichier:
PDF, 289 KB
english, 2004
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