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Electrical Characterization of Nitrogen Implanted 3C-SiC by...

Materials Science Forum 2011 / 3 Vol. 679-680

Electrical Characterization of Nitrogen Implanted 3C-SiC by SSRM and C­TLM Measurements

Song, Xi, Bazin, Anne Elisabeth, Michaud, Jean Francois, Cayrel, Frédéric, Zielinski, Marcin, Portail, Marc, Chassagne, Thierry, Collard, Emmanuel, Alquier, Daniel
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Volume:
679-680
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.679-680.193
Date:
March, 2011
Fichier:
PDF, 323 KB
english, 2011
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