Reliability Improvement and Optimization of Trench...

Materials Science Forum 2014 / 2 Vol. 778-780

Reliability Improvement and Optimization of Trench Orientation of 4H-SiC Trench-Gate Oxide

Kojima, Takahito, Harada, Shinsuke, Ariyoshi, Keiko, Senzaki, Junji, Takei, Manabu, Yonezawa, Yoshiyuki, Tanaka, Yasunori, Okumura, Hajime
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Volume:
778-780
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.537
Date:
February, 2014
Fichier:
PDF, 336 KB
english, 2014
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