Characterization of 3C-SiC/SOI Deposited with HMDS

Materials Science Forum 2000 Vol. 338-342

Characterization of 3C-SiC/SOI Deposited with HMDS

Planes, N., Dupel, P., Ravetz, M., Contreras, Sylvie, Vicente, Patrice, Chassagne, Thierry, Fraisse, B., Camassel, Jean, Monteil, Yves, Rushworth, S.
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Volume:
338-342
Année:
2000
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.338-342.599
Fichier:
PDF, 338 KB
english, 2000
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