4H- to 3C-SiC Polytypic Transformation during Oxidation

Okojie, Robert S., Xhang, Ming, Pirouz, P., Tumakha, Sergey P., Jessen, Gregg, Brillson, Leonard J.

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Volume:

389-393

Année:

2002

Journal:

Materials Science Forum

DOI:

10.4028/www.scientific.net/MSF.389-393.451

Fichier:

PDF, 383 KB

2002

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