Diagnostic of a RF (13.56MHz) Magnetron in Ar/CH4 Discharge

Advanced Materials Research 2011 / 4 Vol. 227

Diagnostic of a RF (13.56MHz) Magnetron in Ar/CH4 Discharge

Djerourou, Samira, N Saoula, Nadia, Henda, Karim
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Volume:
227
Langue:
english
Journal:
Advanced Materials Research
DOI:
10.4028/www.scientific.net/AMR.227.195
Date:
April, 2011
Fichier:
PDF, 277 KB
english, 2011
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