Electrostatically driven optical Z-axis scanner with...

Procedia Engineering 2010 Vol. 5; Iss. none

Electrostatically driven optical Z-axis scanner with thermally bonded glass microlens

S. Bargiel, C. Gorecki, T. Verdot, K. Laszczyk, J. Albero, L. El Fissi
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Volume:
5
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.proeng.2010.09.220
Fichier:
PDF, 1.41 MB
english, 2010
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