Contact-Less Electrical Defect Characterization of...

Materials Science Forum 2009 Vol. 600-603

Contact-Less Electrical Defect Characterization of Semi-Insulating 6H-SiC Bulk Material

Hahn, S., Beyer, Franziska C., Gällström, Andreas, Carlsson, Patrick, Henry, Anne, Magnusson, Björn, Niklas, J.R., Janzén, Erik
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Volume:
600-603
Année:
2009
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.600-603.405
Fichier:
PDF, 741 KB
english, 2009
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