Silicon on insulator temperature and pressure sensor for...

Procedia Chemistry 2009 Vol. 1; Iss. 1

Silicon on insulator temperature and pressure sensor for MEMS smart packaging

E. Lefeuvre, E. Martincic, M. Woytasik, X. Leroux, S. Edmond, C. Pellet, P. Nouet, E. Dufour-Gergam
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Volume:
1
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.proche.2009.07.195
Fichier:
PDF, 445 KB
english, 2009
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