Correcting capacitive displacement measurements in...

Precision Engineering 2005 Vol. 29; Iss. 3

Correcting capacitive displacement measurements in metrology applications with cylindrical artifacts

Philip T. Smith, R. Ryan Vallance, Eric R. Marsh
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Volume:
29
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
12
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2004.11.010
Fichier:
PDF, 364 KB
english, 2005
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