Growth and characterization of TiN/SiN(001) superlattice...

Journal of Materials Research 2007 / 11 Vol. 22; Iss. 11

Growth and characterization of TiN/SiN(001) superlattice films

Söderberg, Hans, Odén, Magnus, Flink, Axel, Birch, Jens, Persson, Per O.Å., Beckers, Manfred, Hultman, Lars
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Volume:
22
Langue:
english
Journal:
Journal of Materials Research
DOI:
10.1557/JMR.2007.0412
Date:
November, 2007
Fichier:
PDF, 867 KB
english, 2007
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