[IEEE 2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS) - Nagoya, Japan (2014.11.10-2014.11.12)] 2014 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS) - Two-axis scanning micro mirror device with thick film metallic glass Cu-Zr-Ti and Parylene-C

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