Comparative study between silicon-rich oxide films obtained...

Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures 2007 Vol. 38; Iss. 1-2

Comparative study between silicon-rich oxide films obtained by LPCVD and PECVD

A. Morales, J. Barreto, C. Domínguez, M. Riera, M. Aceves, J. Carrillo
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Volume:
38
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.physe.2006.12.056
Fichier:
PDF, 228 KB
english, 2007
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