Room Temperature Boron Diffusion in Amorphous Silicon

MRS Proceedings 2006 / 1 Vol. 912

Room Temperature Boron Diffusion in Amorphous Silicon

Jacques, Jeannette M., Jones, Kevin S., Law, Mark E., Robertson, Lance S., Rubin, Leonard M., Napolitani, Enrico
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Volume:
912
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/PROC-0912-C02-01
Date:
January, 2006
Fichier:
PDF, 382 KB
english, 2006
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