Development of a Miniaturized Multisensory Positioning...

Physics Procedia 2011 Vol. 12; Iss. part-PB

Development of a Miniaturized Multisensory Positioning Device for Laser Dicing Technology

Eric Markweg, Tran Trung Nguyen, Stefan Weinberger, Christoph Ament, Martin Hoffmann
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Volume:
12
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1016/j.phpro.2011.03.148
Fichier:
PDF, 999 KB
english, 2011
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