Piezoresistive Cantilever Optimization and Applications

MRS Proceedings 2009 / 1 Vol. 1222

Piezoresistive Cantilever Optimization and Applications

Doll, Joseph C., Park, Sung-Jin, Harjee, Nahid, Rastegar, Ali J., Mallon, Joseph R., Petzold, Bryan C., Hill, Ginel C., Barlian, A. Alvin, Pruitt, Beth
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Volume:
1222
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/PROC-1222-DD03-06
Date:
January, 2009
Fichier:
PDF, 3.68 MB
english, 2009
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