Epitaxial PZT films for MEMS printing applications

MRS Bulletin 2012 / 11 Vol. 37; Iss. 11

Epitaxial PZT films for MEMS printing applications

Funakubo, Hiroshi, Dekkers, Matthijn, Sambri, Alessia, Gariglio, Stefano, Shklyarevskiy, Igor, Rijnders, Guus
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Volume:
37
Langue:
english
Journal:
MRS Bulletin
DOI:
10.1557/mrs.2012.271
Date:
November, 2012
Fichier:
PDF, 993 KB
english, 2012
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