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Etched trenches in technology of monolithic strip detectors...

Etched trenches in technology of monolithic strip detectors based on semi-insulating GaAs

Andrea Perd’ochová-Šagátová, Frantis˘ek Dubecký, Vladimír Nec˘as, Vladimír Linhart
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Volume:
563
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.nima.2006.01.069
Fichier:
PDF, 220 KB
english, 2006
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