Strain stabilization of SiGe films on...

Materials Science in Semiconductor Processing 2005 Vol. 8; Iss. 1-3

Strain stabilization of SiGe films on Si(0 0 1) by in situ pre-epitaxial HCL etching

Günther Vogg, Frank Bensch, Stephan Kreuzer, Reinhard Merkel
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
8
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.mssp.2004.09.049
Fichier:
PDF, 326 KB
english, 2005
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué