Local strains induced in silicon channel by a periodic...

Local strains induced in silicon channel by a periodic array of nitride capped poly lines investigated by high resolution X-ray diffraction

Stephanie Escoubas, Helene Brillet, Thomas Mesarotti, Gaetan Raymond, Olivier Thomas, Pierre Morin
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Volume:
154-155
Année:
2008
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mseb.2008.08.016
Fichier:
PDF, 619 KB
english, 2008
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